お客様と共同で開発したPurionシリーズのイオン注入装置は、現在そして将来へ向けて、10nm以下の製造工程における課題に対応できるよう作られています。21世紀のアーキテクチャに基づいて作られたPurionプラットフォームは、独自の実現技術を用いて最も高い純度、精度、生产性を提供しながら、所有コストを最低限に抑えるよう設計されています。